洗浄プロセスにおける装置技術

浸漬プロセス

噴流および超音波洗浄

浸漬洗浄システムの場合、アセンブリ基板、メタルマスク、パレットまたは装置部品など、通常、洗浄、リンス、乾燥などいくつかの工程ごとに行われます。また、超音波や噴流により洗浄液を撹拌し、洗浄効果を上げます。

水系洗浄剤に加え、引火点の高い最新溶剤系洗浄剤は噴流洗浄システムによりフラックス除去が可能です。洗浄対象物の工程間移行は処理量に応じて手動または自動により行うことができます。

マルチチャンバー浸漬システムのほか、卓上洗浄システム(超音波振動槽)は特に少ない生産量や試作品に適しています。同様に、洗浄およびリンス工程は、別のプロセスチャンバー内にて実施されます。

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噴流 /浸漬洗浄システム概略図

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