真空1チャンバープロセスでは、溶剤での洗浄にのみ適用されます。スプレープロセス同様洗浄液を対象部品に吹きつけ、乾燥は真空内にて行うため処理時間を大幅に短縮可能です。
多くの溶剤は液寿命が長く乾燥効率が良いため短時間処理が可能です。また、真空1チャンバープロセスでは洗浄機の防爆対策が必要です。
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