FT-IR：有機物残渣の分析
基板上の有機物残渣を測定し、残留物質がフラックスによるものなのか、洗浄液等の残留による影響かなど、詳細な起因分析ができます。
FT-IR
FT-IRは、測定対象物に赤外光を照射し、透過または反射した光量を測定することで、対象となる物質を特定することができる分析手法です。フラックス残渣成分の分析に有効で、目視では確認できない透明化した残渣成分であっても、有機物であれば検出できます。
そのため、残留物質がフラックスによるものなのか、洗浄液等の残留による影響かなど、詳細な起因分析が可能です。
また、顕微鏡タイプのFT-IRでは、洗浄対象物表面を拡大視野でピンポイント測定する事ができ、非常に高精度な分析を行う事が可能です。
弊社分析センターでは、FT-IRなどの分析装置を保有しており、分析目的に応じた測定が可能です。
洗浄だけでなく、洗浄後の清浄度分析もサポートさせていただきます。