SEM-EDS：微小物の分析
SEM-EDSとは、加速された電子線を照射し試料表面の拡大観察を行うSEMと、その電子線照射によって発生する特性X線を検出し元素分析を行うEDSを組み合わせた装置です。
SEM-EDS
SEM-EDSは、対象物質に電子線を照射することで発生する特性X線を検出し、微小物の詳細形状を観察及び元素分析を行うことが可能です。
微小物の構成元素を固定し、分布状態も確認できるため、有機物残渣・金属塩を含む洗浄不良になりうる要因を的確に判断することができます。
また、分析対象の残渣の形状によって加速電圧を切り替えることで、厚みのある残渣だけでなく、薄膜上の残渣まで観察することが可能となります。
弊社分析センターでは、SEM-EDSなどの分析装置を保有しており、分析目的に応じた測定が可能です。
洗浄だけでなく、洗浄後の清浄度分析もサポートさせていただきます。